En la actualidad, la mayoría de las películas duras mecánicamente funcionales (especialmente las películas utilizadas para herramientas de corte) en el mundo utilizan tecnología de deposición por arco catódico. rendimiento de la aplicación; especialmente el problema de las partículas del equipo de deposición por arco catódico de fabricación nacional es particularmente grave. La introducción de la tecnología de filtración magnética sobre la base de esta tecnología puede resolver el problema de las partículas depositadas en la superficie, pero la eficiencia de deposición es solo aproximadamente 1/10 del original y el área de deposición es pequeña, por lo que el ciclo de producción es de largo, el costo de fabricación es alto y no es adecuado para el recubrimiento en masa. aplicaciones de producción. La superficie de la película preparada por la tecnología de pulverización catódica con magnetrón es suave y delicada, la tasa de deposición es moderada y la película se puede depositar uniformemente en un área grande. Sin embargo, la tecnología de pulverización catódica también tiene una baja tasa de ionización (generalmente 10 %), y la película preparada no es tan buena como la película preparada por la tecnología de arco catódico en términos de dureza, resistencia al desgaste y fuerza de unión; se lleva a cabo un recubrimiento reactivo químico. (como TiN, TiO2), debido a la baja tasa de ionización y la escasa reactividad de las partículas metálicas, se debe introducir un exceso de gas reactivo, lo que provoca el envenenamiento (reacción química) de la superficie del magnetrón, provocando una serie de avalanchas, como un fuerte reducción de la tasa de evaporación. Como resultado, el recubrimiento reactivo de pulverización catódica del magnetrón es inestable e incontrolable.

Por lo tanto, hay máquinas de recubrimiento al vacío de iones multifuncionales en el mercado. A través de un gran número de experimentos y aplicaciones industriales, el proyecto ha llegado a las siguientes conclusiones:

(1) La máquina de recubrimiento de iones multifuncional diseñada con múltiples tecnologías de recubrimiento es exitosa y el rendimiento integral del sistema de recubrimiento establecido se encuentra en una posición de liderazgo en China.

(2) El equipo puede preparar una película tipo diamante y una película multicapa compuesta de nitrógeno metálico (o carbono) con una superficie lisa y densa, una superficie lisa y delicada y un rendimiento excelente en áreas grandes y de bajo costo.

(3) El uso de una capa de transición intermedia de gradiente multicapa especial y la tecnología de dopaje reducen la tensión interna, mejoran la fuerza de unión entre la película y el sustrato y favorecen el crecimiento de la capa de la película (hasta 6 mm de espesor).

(4) La película DLC preparada tiene excelentes propiedades integrales: dureza > 20 GPa (hasta 37,25 GPa), espesor ajustable (hasta 6 mm de espesor), fuerza de unión entre la película y la base > 50 N (hasta 100 N), coeficiente de fricción < 0,2, la la película es suave y delicada.

(5) El revestimiento autolubricante multicapa resistente al desgaste y al calor de matriz/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC desarrollado tiene buenas propiedades integrales: la dureza es de hasta 28,7 GPa, el espesor es ajustable desde 1-4 mm, y la película La fuerza de unión / base es superior a 70 N, y el coeficiente de fricción es inferior a 0,2.

(6) La película resistente al desgaste y antifricción desarrollada se ha aplicado con éxito a una variedad de moldes de alta precisión y componentes clave de precisión. Los resultados de la aplicación muestran que el efecto de fortalecimiento de la superficie de la capa de película es notable, lo que puede mejorar en gran medida la calidad del producto y la vida útil.

Máquina de recubrimiento tribológico de metal de acero inoxidable

El revestimiento de iones de arco múltiple introduce varios modos de descarga de gas en el campo de la deposición de vapor en condiciones de vacío. Todo el proceso de deposición de vapor se lleva a cabo en proceso de plasma. Se puede recubrir no solo en la superficie de productos metálicos, sino también en la superficie de productos no metálicos. Se puede enchapar con película metálica, nitruro de titanio, carburo de titanio, nitruro de circonio, nitruro de cromo, óxido de titanio y otras películas.