los máquina de recubrimiento al vacío por pulverización catódica de magnetrón consta de muchos componentes, cada uno de los cuales tiene su propio uso único, y es indispensable. La máquina de recubrimiento al vacío por pulverización catódica consta de un sistema de vacío, un sistema tradicional, un sistema de calefacción, un sistema de refrigeración, un sistema de distribución de aire de proceso y un sistema de pulverización catódica por magnetrón.

Sistema de vacío: El equipo del sistema de vacío se concentra en el área de la cámara de vacío, compuesto por equipo de bombeo (bomba mecánica, bomba Roots, bomba molecular), equipo de prueba (medidor de resistencia, medidor de ionización, medidor de membrana), válvula de seguridad (válvula de compuerta de cavidad, bomba molecular), válvula de charnela, bomba rotativa de paletas, válvula autocebante de bomba Roots, válvula de tubería y válvula de corte de aire); a través de la bomba de paletas rotativas> bomba Roots> bombeo de relé de bomba molecular, la presión en la cámara cambia de la atmósfera al vacío, y en mantener un entorno de vacío adecuado para la producción durante el proceso de producción.

El principio de funcionamiento de la bomba de vacío de paletas rotativas, la bomba de paletas rotativas se compone de estator, rotor, paletas rotativas, cubierta fija, resorte y otras partes. Su estructura es utilizar el rotor excéntrico instalado en la cavidad del clavo (el círculo exterior del rotor es tangente a la superficie interior del estator y el espacio entre los dos es muy pequeño) y los dos rotores que se deslizan en la ranura del rotor y adherirse a la pared interna del estator por medio de la tensión del resorte y la fuerza centrífuga. Cuando el rotor gira, siempre se desliza a lo largo de la pared interior del estator.

En el vacuómetro de termopar, una corriente de intensidad constante pasa a través del alambre de platino como un alambre caliente. Después de alcanzar el equilibrio térmico, la potencia de calentamiento proporcionada por la corriente es igual a la potencia perdida a través de la radiación de calor espacial, la conducción de calor de metales y la conducción de calor molecular de gas. Por lo tanto, la temperatura del alambre caliente cambiará regularmente con el grado de vacío.

El indicador Pirani se llama indicador de vacío de resistencia térmica, su principio de funcionamiento es similar al del indicador de vacío de termopar. Un indicador de alto vacío, a menudo utilizado junto con un indicador de termopar, se denomina indicador de ionización y es la herramienta de medición más utilizada en el rango de alto vacío.

El indicador de vacío tipo película de vacío es un tipo de indicador de vacío que se basa en una película de metal para generar un desplazamiento mecánico bajo la acción de la diferencia de presión del gas, por lo que puede usarse para medir la presión absoluta del gas y el resultado de la medición no tiene nada que ver con el tipo de gas. .

El vacuómetro de membrana tiene dos cámaras de vacío aisladas. Cuando se conoce la presión en una cámara de vacío y se desconoce la presión en la otra cámara de vacío, el desplazamiento de la membrana será proporcional a la diferencia de presión entre las dos cámaras. Proporcional, para mejorar la precisión de la medición, el desplazamiento de la película se logra midiendo el cambio en la capacitancia entre la película y otro electrodo metálico.

En un amplio rango, el indicador de vacío de película delgada tiene una buena linealidad y su límite de detección es de aproximadamente 10-3 pa, lo que equivale a la detección del desplazamiento de la película delgada en solo una escala atómica.

El sistema de transmisión de la máquina de recubrimiento al vacío por pulverización catódica con magnetrón: el sistema tradicional tiene un total de 24 motores de accionamiento, 4 para cada plataforma de carga y descarga, 11 para el área de proceso y 5 para la sección de retorno. Además de la transmisión, el resto de electrodos son de transmisión unidireccional;

Máquina de recubrimiento por pulverización catódica de magnetrón de CC

Cuerpo completo de la máquina con acero inoxidable 304 de alta calidad, diseño de agua de refrigeración de doble capa

Varios conjuntos de fuentes de arco de iones recientemente desarrollados están razonablemente equipados para garantizar de manera efectiva la estabilidad y uniformidad de la pulverización catódica de la fuente de arco.

El sistema de admisión de aire multicanal se adopta para controlar con precisión el flujo de gas para cumplir con sus requisitos para una variedad de películas compuestas.

En combinación con la tecnología de polarización por pulsos, la energía de las partículas eléctricas mejora considerablemente, a fin de obtener una excelente adherencia y acabado de la película.

El equipo se utiliza principalmente en: productos de ferretería, artesanías de vidrio, artesanías de cerámica, como productos de baño, relojes, cuchillos, moldes, cristal, herramientas de golf, lámparas, monturas de gafas, baldosas de cerámica, baldosas, etc.

Materiales de proceso: acero inoxidable, cobre, hierro, aleación de zinc, aluminio, ABS, vidrio, cerámica, etc.

El estado de la superficie de los materiales del proceso: superficie brillante de galvanoplastia ordinaria, superficie tonta (semi tonta, tonta completa), arrugas de galvanoplastia de proceso, cepillo, gotas de lluvia, etc.

Los colores del revestimiento son: translúcido, dorado, plateado, dorado rosa, negro, negro oscuro, verde, azul, morado, arcoíris, etc.